山東有研的無塵車間
□張海峰賀瑩瑩劉瀟韓哲
11月18日，山東省人民政府發(fā)布關于表彰第十屆山東省省長質(zhì)量獎及提名獎獲獎單位和個人的通報，山東有研半導體材料有限公司（以下簡稱山東有研）總經(jīng)理、正高級工程師張果虎榮獲本屆省長質(zhì)量獎。“這份榮譽既是對個人工作的肯定，更是對企業(yè)質(zhì)量管理體系的認可。”張果虎表示。
集成電路是信息產(chǎn)業(yè)的核心，德州市主動融入京津冀協(xié)同發(fā)展戰(zhàn)略，先后引進了集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項目、12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目、集成電路刻蝕設備用硅材料項目硅片等重點項目，形成了包含設計、材料、封裝、測試在內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)微集群，其中“有研系”已在德州建設了七大項目。前不久，世界集成電路協(xié)會發(fā)布《2025年全球集成電路產(chǎn)業(yè)綜合競爭力百強城市白皮書》，山東省共有濟南、青島和德州等3個城市入選，德州列第99位。
作為“有研系”落地德州的首個項目，山東有研半導體6—8英寸硅片項目如今已實現(xiàn)月產(chǎn)50萬片的穩(wěn)定產(chǎn)能。談及項目在行業(yè)內(nèi)保持領先的秘訣，張果虎直言，這離不開企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的極致追求。“一片硅材料的生產(chǎn)要經(jīng)過十幾道工序，每一道工序我們都制定了嚴格的企業(yè)內(nèi)控標準。硅片作為高純度材料，核心要求就是‘平、純、潔’，我們早已把‘質(zhì)量控制’深度融入工藝DNA之中。”張果虎介紹。產(chǎn)品平整度達到納米級，相當于讓3萬個晶體管“整齊入住”同一層樓，每片硅片都擁有專屬“電子身份證”，上百個工藝參數(shù)實時上傳系統(tǒng)，實現(xiàn)產(chǎn)品片片可追溯，甚至能精準定位到單晶原位置。不僅如此，企業(yè)還創(chuàng)新應用CPDAS單晶大數(shù)據(jù)平臺、硅片形貌分析系統(tǒng)、缺陷密度AI判讀系統(tǒng)這三大智能制造“法寶”，用智慧手段為產(chǎn)品質(zhì)量筑起堅實防線。
回憶起5年前8英寸硅片項目通線量產(chǎn)時的場景，張果虎仍記憶猶新：“當時有人問我，項目面臨的最大挑戰(zhàn)是什么？ 我回答，是如何在激烈的市場競爭中以高質(zhì)量站穩(wěn)腳跟。如今我們能在行業(yè)內(nèi)保持優(yōu)勢，正是因為始終嚴守質(zhì)量管控標準。產(chǎn)能可以復制，但科技創(chuàng)新與產(chǎn)品質(zhì)量，才是企業(yè)實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的關鍵。”
質(zhì)量的堅守離不開全員參與的文化根基。山東有研多年來堅持每月召開質(zhì)量分析會、開展全員質(zhì)量培訓與月度質(zhì)量員工評選，通過競賽、評比等多元化形式，讓“質(zhì)量無小事”的理念深入人心。對質(zhì)量的堅守，讓山東有研贏得了市場與客戶的廣泛認可，生產(chǎn)線常年保持滿產(chǎn)狀態(tài)。公司常務副總經(jīng)理劉斌分享了一個案例：“此前，山東省的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展相較于珠三角、長三角地區(qū)存在一定差距。一知名車企在山東建廠，提出每月3萬片硅片的需求——這些硅片將用于新能源核心芯片，對質(zhì)量要求極高。而我們第二次送樣就成功達標，并且從那時起一直為該車企供應至今。”
如今，山東有研生產(chǎn)的硅片有100多種，廣泛應用于各類芯片產(chǎn)品，背后是企業(yè)對新產(chǎn)品研發(fā)與技術迭代的持續(xù)投入。近期，在特色化硅片產(chǎn)品領域，企業(yè)再傳捷報：超低阻硅片已實現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，市場反響良好；8英寸區(qū)熔硅片、超低氧硅片及多晶硅鑄錠等新產(chǎn)品的客戶認證進程正在加速推進，產(chǎn)品結構的多樣性與市場競爭力不斷提升。此外，企業(yè)還聯(lián)合上游供應商搭建連續(xù)拉晶生長平臺，聚焦關鍵原材料、設備與工藝研發(fā)，為未來單晶連續(xù)生長技術的產(chǎn)業(yè)化布局奠定堅實基礎。
目前硅片正朝著大尺寸化、制程精細化方向邁進，但山東有研并未止步于硅片制造，而是將目光投向半導體核心零部件生產(chǎn)領域，逐步向產(chǎn)業(yè)鏈下游延伸，持續(xù)完善產(chǎn)業(yè)布局。“項目落地德州以來，發(fā)展速度和投資進度遠超當初預期，這離不開當?shù)卣疇I造的優(yōu)質(zhì)營商環(huán)境。”張果虎感慨道，“最初從北京來到德州的200余名核心技術人員，沒有一人離開，如今我們都成了‘新德州人’。近些年，山東省對集成電路產(chǎn)業(yè)高度重視，出臺了一系列扶持政策，已在全國乃至全世界的產(chǎn)業(yè)版圖和市場競爭中占據(jù)了一席之地。我們也期待著，‘十五五’時期，山東的集成電路產(chǎn)業(yè)能實現(xiàn)跨越式發(fā)展，再上一個大臺階。”